陶瓷燒結爐是半導體專用設備系列中的一種新型工藝設備，可進行真空燒結、氣體保護燒結和常規(guī)燒結。它具有設計新穎、操作方便、結構緊湊等優(yōu)點。它可以在一臺設備上完成多個工藝流程。

　　陶瓷燒結爐的結構說明：

　　1、本電爐為立式真空電爐，由爐蓋、爐體、爐底和真空機組組成，爐殼內(nèi)層是不銹鋼，外層是碳鋼，兩層之間用循環(huán)水冷卻。爐殼上設有抽氣口、觀察孔、熱電偶孔、保護氣氛進出口、防爆

　　口等。發(fā)熱元件采用鎢絲發(fā)熱，發(fā)熱體的周圍有多層鎢片、鉬片和不銹鋼組成的隔熱屏裝置。爐底是由內(nèi)外板焊接而成，中間水冷。可上下升降方便裝卸料。

　　2、發(fā)熱體：采用三相鎢籠網(wǎng)狀式結構，散發(fā)熱量平穩(wěn)均勻，使爐內(nèi)溫度均勻性較好，生產(chǎn)效率高，耐用性能強，新型結構使用壽命長，變形小和特別節(jié)能等。有效的使燒結樣品更美觀均勻透徹。真空鎢絲爐內(nèi)部的鎢絲網(wǎng)發(fā)熱體采用了*的制作工藝，可大大降低能耗，發(fā)熱體外采用全金屬隔熱屏保溫。專有技術設計的保溫層，爐溫均勻性佳，變形小，使用壽命長。

　　3、隔熱屏：由多層金屬板專業(yè)制造，加工設備也提高技術，使隔熱屏加以固定，不容易變形，更有助于隔熱性能的提高及均勻性，還有效的防止熱量向外輻射傳導，更有助于真空度和清潔度的要求有很高的環(huán)境使用。同時高真空陶瓷燒結爐已成功得到用戶滿意的認可、驗收及更高的肯定。